FAQ

1, Вопрос: Что делать, если вакуум не достигает заданного значения?

Ответ: Проверьте, не изношены ли уплотнительные кольца; с помощью гелиевого масс-спектрометра определите место утечки; убедитесь, что уровень и качество масла вакуумного насоса соответствуют норме.

2, Вопрос: По каким причинам во время работы вакуум может резко снизиться?

Ответ: Возможные причины — неисправность насоса, загрязнение вакуумной камеры или недостаточный расход охлаждающей воды. Необходимо проверить насос, очистить камеру и обеспечить расход охлаждающей воды не менее 5 л/мин.

3, Вопрос: Что делать, если покрытие легко отслаивается?

Ответ: Усильте очистку изделий для удаления масла и пыли, перед напылением выполните достаточную термообработку или ионную очистку, оптимизируйте технологические параметры для снижения внутренних напряжений покрытия.

4, Вопрос: Как диагностировать ситуацию, когда вакуумный насос не запускается?

Ответ: Проверьте питание и стабильность напряжения, уровень и качество масла в насосе. При перегреве двигателя дайте ему остыть, затем перезапустите или замените двигатель.

5, Вопрос: Что делать при неравномерном распределении толщины покрытия?

Ответ: Отрегулируйте положение источника осаждения и соосность с подложкой, зафиксируйте подложку с помощью оснастки, чтобы избежать экранирования, оптимизируйте параметры электромагнитных катушек для коррекции траектории пучка.

6, Вопрос: Почему прибор контроля толщины показывает большое отклонение?

Ответ: Причиной может быть отсутствие калибровки кварцевого контроллера, загрязнение датчика или колебания технологических параметров. Необходимо ежеквартально калибровать прибор и очищать датчик.

7, Вопрос: Как устранить появление пор и цветовых пятен в покрытии?

Ответ: Перед напылением откачайте камеру до ≤5×10⁻⁴ Па и выполните дегазацию нагревом; проверьте герметичность соединений; перед использованием выполните предварительное плавление и дегазацию материала покрытия.

8, Вопрос: Что делать, если температура подложки не достигает заданного значения?

Ответ: Проверьте подключение нагревательных элементов, перенастройте PID-параметры терморегулятора, откалибруйте или измените положение термопары.

9, Вопрос: Как действовать, если панель управления не реагирует?

Ответ: Очистите шкаф управления сухим сжатым воздухом, проверьте проводку датчиков, перезагрузите систему или переустановите управляющее программное обеспечение.

10, Вопрос: Как решить проблему отсутствия пучка или его сильных колебаний?

Ответ: Замените изношенную нить накала и установите её по центру, перед запуском обнулите ограничитель пучка, проверьте изоляцию защитного кожуха высоковольтных электродов.

11, Вопрос: По каким причинам магнетронное распыление не зажигается?

Ответ: Возможны неправильное давление в вакуумной камере, аномальный расход аргона или некорректные настройки мощности распыления; требуется отрегулировать соответствующие параметры.

12, Вопрос: Как часто нужно менять масло в механическом насосе?

Ответ: Масло следует менять каждые 200 часов суммарной работы; новое масло необходимо фильтровать до уровня NAS 6.

13, Вопрос: Какое регулярное обслуживание требуется для турбомолекулярного насоса?

Ответ: Каждые 5000 часов необходимо добавлять специальную смазку; при увеличении сопротивления вращению более чем на 20% от первоначального значения следует заменить подшипниковый узел.

14, Вопрос: Каков срок замены уплотнительных колец?

Ответ: Рекомендуется проверять и при необходимости заменять их каждые 6–12 месяцев; в повседневной эксплуатации следует наносить вакуумную смазку для обслуживания.

15, Вопрос: Как очищать вакуумную камеру?

Ответ: В течение 2 часов после напыления протирайте внутренние стенки изопропиловым спиртом; каждые 50 циклов напыления выполняйте аргонное ионное травление.

16, Вопрос: Какая подготовка требуется для изделий перед напылением?

Ответ: Выполните химическую или ультразвуковую очистку для обезжиривания и удаления загрязнений, храните изделия в сухой среде во избежание вторичного загрязнения, используйте подходящую оснастку для фиксации.

17, Вопрос: Каков правильный порядок запуска вакуумных насосов?

Ответ: Сначала запускается форвакуумный насос, и после достижения определённого вакуума запускается основной насос.

18, Вопрос: Какие ключевые параметры необходимо контролировать во время работы оборудования?

Ответ: Уровень вакуума, температуру подложки, мощность распыления, расход газов и изменение толщины покрытия.

19, Вопрос: Каковы типичные проявления неисправностей электрической системы?

Ответ: Аномальное отображение параметров, отсутствие реакции компонентов или частые срабатывания защиты; требуется проверить соединения и состояние элементов.

20, Вопрос: Как избежать газового загрязнения в процессе напыления?

Ответ: Полностью удалить остаточную влагу и кислород путём откачки, проверить герметичность соединений и исключить подсос воздуха.

21, Вопрос: Какие работы входят в еженедельное обслуживание?

Ответ: Проверка уровня масла в диффузионном насосе, очистка смотровых окон и датчиков, тестирование функций защитных блокировок.

22, Вопрос: Как определить необходимость замены мишени?

Ответ: По изменению качества покрытия и фактическому износу мишени; при частых пробоях или ухудшении качества покрытия мишень следует своевременно заменить.

23, Вопрос: Какие требования к безопасности при эксплуатации оборудования?

Ответ: Использовать защитные перчатки и очки; во время работы оборудования запрещено открывать камеру; регулярно проверять защиту от перегрева и утечки тока.

24, Вопрос: К чему приводит недостаточный расход охлаждающей воды?

Ответ: Это вызывает перегрев насоса, снижает стабильность вакуума и в тяжёлых случаях может привести к повреждению узлов насоса.

25, Вопрос: Каков порядок остановки оборудования после напыления?

Ответ: Сначала отключите нагреватели и подачу электроэнергии и газа; после охлаждения оборудования очистите камеру и выполните обслуживание вакуумных насосов.

26, Вопрос: Каков период калибровки кварцевого контроллера толщины?

Ответ: Один раз в квартал с использованием стандартных образцов толщины для обеспечения точности измерений.

27, Вопрос: Как обнаружить утечку в вакуумных трубопроводах?

Ответ: Нанесите мыльный раствор для выявления пузырей либо используйте гелиевый масс-спектрометр для точного определения места утечки.

28, Вопрос: Являются ли цены вашей компании выгодными?

Ответ: Мы являемся производителем и работаем напрямую, без посредников; в зависимости от объёма заказа предоставляются скидки.

29, Вопрос: Какова корпоративная и техническая сила вашей компании?

Ответ: Мы опираемся на промышленную базу Шэньяна и интеграцию ресурсов в разных регионах, имеем богатый опыт успешных проектов и хорошую отраслевую репутацию, сотрудничество стабильно.

30, Вопрос: Какие продукты и услуги вы предлагаете?

Ответ: Мы предлагаем вакуумное оборудование для напыления серий магнетронного распыления, ионно-дугового и оптического напыления, а также полный спектр услуг: PVD-напыление, поставку комплектующих, модернизацию и обновление оборудования.