
1、Производимая нами Установка магнетронного оптического напыления отличается глубокой оптимизацией вакуумной системы и механической конструкции, что обеспечивает высокую эффективность работы оборудования и его длительную эксплуатационную стабильность.
2、Мы располагаем профессиональной сервисной командой, способной на основе конкретных условий эксплуатации и особенностей вашего производства предложить индивидуальные решения и комплексную техническую поддержку для Установки магнетронного оптического напыления.
3、Компания обладает более чем 30 патентами, что подтверждает высокий уровень технологической компетенции и надежность эксплуатационных характеристик Оборудования MOC для оптического покрытия методом магнетронного распыления NT-MOC2600.
| Модель оборудования | NT-MOC2600 |
| Эффективная зона нанесения | ∅2400 × H1600 |
| Дополнительные конфигурации | Магнетронные источники, ионный источник с анодным слоем, ВЧ-ионный источник, ловушка водяных паров |
| Время технологического процесса | 2–4 часа |
| Типы покрытий | AR, HR, AF, AR+AF и др. |
| Максимальная температура системы | 200 °C |
| Температура осаждения | <150 °C |
| Максимальная нагрузка | 1000 кг |
1、Благодаря полной совместимости с широким спектром оптических пленочных систем, Установка магнетронного оптического напыления удовлетворяет индивидуальные требования — от базовых отражающих покрытий до высокоточных узкополосных интерференционных фильтров.
2、Установка магнетронного оптического напыления успешно решает задачи низкотемпературного осаждения, эффективно предотвращая деформацию подложек и повреждения, вызванные остаточными напряжениями.
3、Применение планетарной системы вращения изделий позволяет Установке магнетронного оптического напыления обеспечивать равномерное формирование покрытий на крупногабаритных поверхностях и поддерживать высокоэффективный режим одновременной обработки изделий различных типоразмеров.
4、За счёт сочетания высоковакуумного контроля и точного дозирования газов Установка магнетронного оптического напыления гарантирует высокую повторяемость спектральных характеристик и плотности пленок между различными производственными партиями.
5、Система поддерживает интеграцию с автоматизированными производственными линиями и удалённый интеллектуальный мониторинг, способствуя цифровой трансформации оптического производства.
1、Установка магнетронного оптического напыления использует технологический маршрут «распыление элементарных материалов в атмосфере аргона + ICP-радиочастотная плазменная внутрипроцессная химическая реакция», что за счёт пространственного развязывания процессов значительно повышает скорость осаждения и плотность металлических соединений, таких как Nb₂O₅, SiO₂ и Si₃N₄.
2、Оборудование комплектуется высокоэффективными мишенями из ниобия (Nb), кремния (Si) и других материалов, обеспечивая прецизионное управление показателем преломления и равномерностью толщины покрытий.
3、Усовершенствованная конструкция держателей изделий гарантирует высокую однородность формирования пленок как на плоских 2D-подложках, так и на сложных 3D-геометриях.
4、Установка магнетронного оптического напыления поддерживает гибкое проектирование пленочных систем — от базовых цветных покрытий до сверхтвёрдых AR-пленок и функциональных AF-покрытий.
1、Как устранить дефекты покрытия в виде пор или цветовых пятен?
Ответ: перед нанесением покрытия необходимо откачать камеру до давления ≤5×10⁻⁴ Па и выполнить дегазацию нагревом; проверить герметичность соединений; перед использованием мишеней провести предварительное проплавление и удаление газов.
2、Что делать, если температура подложки не достигает заданного значения?
Ответ: проверить соединения нагревательных элементов, перенастроить PID-параметры температурного контроллера, откалибровать или скорректировать положение термопары.
3、Как поступить при отсутствии отклика панели управления?
Ответ: очистить шкаф управления сухим сжатым воздухом, проверить соединения датчиков, перезапустить систему или переустановить программное обеспечение управления.
1、Посредством систематизированного обучения мы стандартизируем сложные процедуры технического обслуживания, повышая профессиональный уровень персонала заказчика и его способность к раннему выявлению неисправностей Установки магнетронного оптического напыления.
2、Формируем индивидуальные архивы оборудования клиентов и предоставляем полный цикл сервисной поддержки — от бесплатного реагирования в гарантийный период до пожизнального технического консультирования после его окончания.
3、Направляем инженеров для выполнения монтажных работ на месте, проведения испытаний вакуумной герметичности и точной калибровки технологических параметров, обеспечивая достижение Оборудованием MOC для оптического покрытия методом магнетронного распыления TN-MOC2600 предельных проектных характеристик.